砷化镓材料载流子浓度PCIV测试系统

• 作者: 孙毅之 施亚申
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: PCIV技术 砷化镓 载流子浓度 二维分布
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2001.04.006

摘要

本文介绍了用PCIV技术进行GaAs材料载流子浓度测量的方法及我们研制的PCIV测试系统.该系统由探针台、测量单元和计算机系统组成;计算机通过接口与探针台和测试单元相连,形成了全自动化二维Ⅰ-Ⅴ特性测试系统.利用系统控制及数据处理软件可以方便地设定测量参数,对测量结果作二维位图或三维面图显示及统计计算.文中给出了部分离子注入GaAs晶片载流子浓度分布的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施亚申		1	0	0.0	0.0
2	孙毅之		1	0	0.0	0.0