直流磁控溅射镀膜在玻璃涂层技术中的应用

• 作者: 侯鹤岚
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 镀膜玻璃、涂层
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 专家聚焦
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.8
• 字数: 3911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.01.004

摘要

本文在探讨镀膜玻璃一些基本问题的基础上，阐述了磁控溅射在玻璃涂层技术中的应用机理、靶的结构、靶材的选取、提高膜层质量以及镀膜玻璃的应用及发展前景等问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯鹤岚		2	42	1.0	2.0