8英寸线超纯水技术的若干特点

• 作者: 林耀泽
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超纯水 水质 回收 总有机碳 配管
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2001.09.020

摘要

应小于等于0.25μm8英寸fab之需,介绍了实际工程的各项优越水质参数和高可靠、易运作等特点.讨论了水的回收技术、总有机碳(TOC)减低技术和安装/配管中的零污染的可能性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林耀泽		1	2	1.0	1.0