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摘要:
用激波理论推出了激光诱导等离子体化学气相淀积过程中两个重要参量薄膜面积、膜淀积速率的表达式.分析了激光强度、气体压强、基片温度对淀积过程的影响,为最佳淀积条件的选取提供了理论依据.
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文献信息
篇名 激光诱导等离子体淀积薄膜过程的研究
来源期刊 四川工业学院学报 学科
关键词 等离子体 气相淀积 薄膜面积 淀积速率
年,卷(期) 2001,(4) 所属期刊栏目 基础学科
研究方向 页码范围 66-67
页数 2页 分类号
字数 1921字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1673-159X.2001.04.023
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张贵银 38 102 6.0 7.0
2 荆一东 1 0 0.0 0.0
传播情况
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1987(1)
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2001(0)
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
气相淀积
薄膜面积
淀积速率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西华大学学报(自然科学版)
双月刊
1673-159X
51-1686/N
大16开
四川省成都市金牛区
1982
chi
出版文献量(篇)
3399
总下载数(次)
6
总被引数(次)
16135
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