超纯水精处理系统与水质评价

• 作者: 林耀泽
• 来源期刊: 半导体情报
• 学科: 工学
• 关键词: 超纯水 精处理 水质 仪表
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究探讨
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2768字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2001.03.011

摘要

以应0.5μm技术之需而设的一套超纯水精处理系统为实例,介绍了其工艺流程及特点,给出各项水质参数的实测数据,进而评述≤0.25μm/8英寸线的水质评价项目及其限定值、分析手段和应具有的在线检测仪表.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林耀泽		1	3	1.0	1.0