快响应薄膜式高压锰铜传感器

• 作者: 杜晓松 杨邦朝 王卉
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 锰铜传感器 薄膜 响应时间
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 字数: 1863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2001.01.027

摘要

本文采用磁控溅射技术制作了新型的薄膜式锰铜超高压力传感器，获得了32ns的快速响应，同时，研究了传感器的安装方式及绝缘封装层的厚度对传感器响应时间的影响关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松		61	434	12.0	16.0
2	杨邦朝		253	3422	31.0	49.0
3	王卉		3	28	3.0	3.0