MOVPE生长氮化物四元系的热力学考虑

• 作者: 段树坤 陆大成
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAlInN MOVPE 膺热力学分析
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TN312.8
• 字数: 1002字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2001.z1.004

摘要

本文提出了一个MOVPE生长GaxAlyIn1-x-yN的膺热力学分析模型.假设此合金是由Ⅲ族元素与NH3之间反应生成的.为了计算氨分解的影响,在模型中引入了氨分解率的概念,质量守恒方程是用摩尔量来计算的.我们计算了在不同生长条件下,与GaN晶格匹配的富Ga的GaxAlyIn1-x-yN合金组分和输入的Ⅲ族金属有机化合物摩尔比之间的关系.计算结果表明Al和Ga优先于In进入固相.为了增加固相的In含量应适当降低生长温度、使用氮载气、提高输入反应管的金属有机化合物的分压、采用高V/Ⅲ比值和降低氨分解率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆大成		13	45	4.0	6.0
2	段树坤	中国科学院半导体研究所	2	0	0.0	0.0