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器件工艺
半导体材料
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 SiC材料与器件
来源期刊 半导体情报 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2001,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-6
页数 6页 分类号 TN3
字数 4373字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-4776.2001.02.001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 袁明文 河北半导体研究所专用集成电路国家级重点实验室 2 18 1.0 2.0
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