MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性

• 作者: 傅竹西 刘丽萍 彭小滔 林碧霞 祝杰 贾云波
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 薄膜制备 结构特性 光致发光
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 119-124
• 页数: 6页
• 分类号: O482.3
• 字数: 2807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2001.02.006

摘要

近年来，随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展，许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法，试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜；研究了源材料及生长压力和温度对薄膜生长的影响；观察了样品的室温光致发光光谱。通过与溅射方法生长的ZnO薄膜的比较，提出了影响材料结构和发光特性的可能原因。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅竹西	中国科学技术大学中国科学技术大学物理系	53	808	17.0	27.0
2	林碧霞	中国科学技术大学中国科学技术大学物理系	32	700	16.0	26.0
3	祝杰	中国科学技术大学物理系	4	69	2.0	4.0
4	贾云波		4	226	3.0	4.0
5	刘丽萍	中国科学技术大学物理系	16	182	6.0	13.0
6	彭小滔	中国科学技术大学物理系	1	63	1.0	1.0