高测速双频激光干涉仪

• 作者: 殷纯永 高赛
• 来源期刊: 光学技术
• 关键词: 双频激光干涉仪 高测速
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 仪器与设计
• 页码范围: 238-239，246
• 页数: 3页
• 字数: 2381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2001.03.013

摘要

现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求.为此研制了一种基于5MHz频差双反射膜激光器的高测速干涉仪.通过实验对干涉仪的测量速度进行了验证.实验证明,该种干涉仪可以对速度为1000mm/s的运动物体进行位移和速度测量 .

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷纯永	清华大学精密仪器与机械学系	43	662	14.0	24.0
2	高赛	清华大学精密仪器与机械学系	4	89	3.0	4.0