光栅纳米测量技术及应用

• 作者: 余文新 胡小唐 邹自强
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 纳米测量 测微仪
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 3592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2001.07.004

摘要

本文简要介绍了光栅纳米测量技术的主要研究内容，着重阐述了其应用实例—— 一种光栅纳米测微仪的原理结构和实现方法。从系统的重复性、分辨力和准确度三方面入手，深入地研究和探索解决光栅纳米测量过程中的各种关键技术问题的方法和途径，能够有效地将光栅测量的分辨力和准确度从亚微米量级提高到纳米量级。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐		205	1913	21.0	33.0
2	余文新		4	123	4.0	4.0
3	邹自强		5	137	5.0	5.0