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摘要:
研究输入C2H2+C3H8+Ar+N2混合气的低温沉积TiC涂层真空阴极电弧离子镀技术,研究结果表明:TiC涂层层深0.005~0.0025mm,涂层硬度2800~3500 Hv0.02,主要用于材料表面工程中耐磨、耐蚀及装饰的涂层.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 烷/炔气低温沉积TiC黑膜的研究
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 真空阴极电弧离子镀 低温沉积 TiC黑膜
年,卷(期) 2001,(6) 所属期刊栏目 热点追踪
研究方向 页码范围 17-19
页数 3页 分类号 TB43
字数 2185字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.06.004
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作者信息
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研究主题发展历程
节点文献
真空阴极电弧离子镀
低温沉积
TiC黑膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
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