单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析

• 作者: 刘勤贤 陈祥华
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 提拉速度 速度控制系统
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: TM301.2
• 字数: 1876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2001.03.019

摘要

在单晶硅生产过程中，对单晶硅提拉速度有十分严格的要求，针对实际情况，本文设计并分析了一种实用的、在极低转速下实现无级调速的控制系统。用该系统来控制提拉机械，具有结构简单、造价低的特点，实测表明，系统的性能满足生产要求，现已投入批量生产。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈祥华		20	94	7.0	9.0
2	刘勤贤		21	140	7.0	11.0