热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究

• 作者: 戚学贵 王冠中 陈则韶
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石 温度场 薄膜生长
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 31-34,16
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164|8|P423
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2001.11.009

摘要

对热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内的三种传热方式(传导、对流和辐射)进行了比较分析,数值计算了气相空间温度分布和衬底表面二维温度分布.采用热丝化学气相沉积工艺制备了金刚石薄膜,扫描电镜结果显示金刚石薄膜在不同生长区域呈现出与温度分布相关的微观结构与形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王冠中		12	58	5.0	7.0
2	陈则韶		108	1106	18.0	26.0
3	戚学贵		13	152	6.0	12.0