聚酰亚胺介质膜高频薄膜电容制作工艺

• 作者: 梁忠莉 邓树森
• 来源期刊: 航天工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 介质膜 高频薄膜电容
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TP53
• 字数: 2633字
• 语种: 中文

摘要

概述了用聚酰亚胺材料做介质的高频薄膜电容及其微波混合集成电路的制作工艺的理论基础,介绍了高频薄膜的制作工艺过程及关键工艺技术和达到的技术指标.用聚酰亚胺做介质膜的高频薄膜电容能够承受弹上产品要求的各项环境试验,性能稳定、质量可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓树森		1	3	1.0	1.0
2	梁忠莉		1	3	1.0	1.0