经钨离子束处理的H13钢的表面结构和成分研究*

• 作者: 张通和 杨建华
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 钨 RBS XPS
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 专家聚集
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 2292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.04.003

摘要

采用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究.注入剂量为3×1017 cm-2,引出电压为48 kV,平均束流为15 μA*cm-2.利用卢瑟福背散射谱(RBS)测量了注入表面的成分,借助X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)考察了注入表面的氧化情况及微观结构.研究发现,钨离子注入H13钢能减轻其表面铁元素的氧化;钨元素在其表面的原子百分比可达28%左右,并根据能带论确定了注入样品中钨和铁元素的电子结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张通和		49	1052	11.0	32.0
2	杨建华		19	52	4.0	7.0