纳米压入法MEMS材料力学性能测量与评定标准化的初步设想

• 作者: 王海容 蒋庄德 赵则祥
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: MEMS材料 纳米压入 力学性能 标准化
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统的测试
• 页码范围: 456-459
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.013

摘要

根据纳米压入法测量与评定MEMS材料力学性能的原理,对诸如测量仪器、压头、评定模型、测试条件等影响力学性能测量精确度、测量结果的可比性的主要因素进行了分析.在此基础上,提出对MEMS材料力学性能测量与评定进行标准化的初步设想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	王海容	西安交通大学精密工程研究所	29	262	10.0	15.0
3	赵则祥	西安交通大学精密工程研究所	8	100	7.0	8.0