大面积YBCO高温超导双面薄膜的生长研究

• 作者: 何世明 刘兴钊 李言荣 罗安 陶伯万
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: YBCO 超导薄膜 溅射
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.019

摘要

采用倒筒式直流溅射(ICS)方法，辐射方式加热基片，通过电机带动基片旋转，在两面同时溅射沉积YBCO高温超导双面薄膜。在加热温度为850 ℃，总压强为35 Pa，氧氩比为1∶2，靶基距50 mm,基片转速5～40 r／min条件下，在20 mm×20 mm的LaAlO3(100)单晶基片上制得两面性能优良且一致性很好的YBCO高温超导双面薄膜。样品两面性能达到：Tc0=89.1 K，ΔTc=0.2 K，Jcl=2.69 MA／cm2，Jc2=2.74 MA／m2(77 K，0 T)，Rsl=0.24 mΩ，Rs2=0.29 mΩ(77 K，10 GHz,0 T),可满足制作微波器件的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学信息材料工程学院	115	824	15.0	21.0
2	刘兴钊	电子科技大学信息材料工程学院	56	310	9.0	14.0
3	陶伯万	电子科技大学信息材料工程学院	39	165	5.0	10.0
4	罗安	电子科技大学信息材料工程学院	4	5	2.0	2.0
5	何世明	电子科技大学信息材料工程学院	9	39	3.0	6.0