硅衬底Sr1-xLaxTiO3薄膜光敏特性研究

• 作者: 刘玉荣 曾绍鸿 李观启 黄美浅
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸镧锶薄膜 光敏电阻器 光敏特性
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 10-11,13
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.91|TN361
• 字数: 2773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2001.01.005

摘要

利用氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积钛酸镧锶（Sr1-xLaxTiO3）膜，并制成平面型电阻器。研究了薄膜电阻器的光电流与照度、电压和电极间距的关系以及薄膜在调制光下的频率特性，计算出薄膜中载流子寿命约为29 ms。结果表明，Sr1-xLaxTiO3薄膜在可见光区域具有较好的光敏特性，其灵敏度和光电导增益都比较高。在弱照度下，光电流随照度变化较快，主要与单分子复合过程相关；而在强照度下，变化趋于缓慢，这与双分子复合过程有关。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉荣	华南理工大学物理系	31	82	6.0	6.0
2	李观启	华南理工大学物理系	20	44	4.0	5.0
3	黄美浅	华南理工大学物理系	22	79	4.0	8.0
4	曾绍鸿	华南理工大学物理系	6	8	2.0	2.0