非制冷红外探测器用VOx薄膜的制备

• 作者: 刘爽 李华高 杨子文
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外探测器 VOx薄膜 反应溅射 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TN215|O484.1
• 字数: 1400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.01.010

摘要

介绍了一种采用反应溅射工艺，通过控制不同气氛的分布制备VOx薄膜的方法，并制备出电阻温度系数(TCR)优于-2%的非制冷红外探测器用VOx薄膜。其XPS、XRD分析结果表明，薄膜的生长情况与制备工艺条件有密切关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李华高		10	55	3.0	7.0
2	杨子文		2	43	1.0	2.0
3	刘爽	电子科技大学重庆光电技术研究所	65	410	11.0	17.0