梁式硅微机械陀螺结构的研究

• 作者: 于杰 王东红 王喜莲 王蔚 蓝慕杰 陈伟平 韩竞科
• 来源期刊: 遥测遥控
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺哥氏力微机械微机电系统
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 论文与技术报告
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TN6
• 字数: 3070字
• 语种: 中文

摘要

通过分析梁式硅微机械陀螺的原理，确定了其结构参数。介绍制造工艺流程，完成了器件的制作，并测试出其工作谐振频率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王蔚	哈尔滨工业大学微电子中心	12	42	4.0	6.0
2	王喜莲	哈尔滨工业大学微电子中心	11	42	3.0	6.0
3	于杰	哈尔滨工业大学分析测试中心	16	96	7.0	9.0
4	陈伟平	哈尔滨工业大学微电子中心	19	73	5.0	7.0
5	王东红	哈尔滨工业大学微电子中心	6	62	5.0	6.0
6	蓝慕杰	哈尔滨工业大学微电子中心	3	17	3.0	3.0
7	韩竞科	哈尔滨工业大学微电子中心	2	10	1.0	2.0