激光干涉仪与纳米精度检测

• 作者: 王向朝
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉仪 半导体激光器 光学检测 纳米测量
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 特邀报告
• 页码范围: 73-76,85
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 字数: 3744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2001.02.015

摘要

文章对光外差、移相、正弦相位调制等几种常见的纳米精度干涉测量技术进行了综述，并介绍了上海光机所的相关工作。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0