一种近衍射限聚焦软X射线显微光束线光学设计

• 作者: 肖体乔
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 同步辐射 X射线显微 波带板 空间相干性
• 年，卷（期）: 2001,（7）
• 页码范围: 547-552
• 页数: 6页
• 分类号: TH742|O432.1
• 字数: 3815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2001.07.004

摘要

软X射线扫描显微术、显微谱学等方面的研究需要有纳米量级的聚焦光斑,在同步辐射光束线建造中实现X射线的衍射限聚焦十分重要.设计采用了具有较高相干通量的波荡器辐射光源,利用衍射光学元件波带板实现近衍射限成象.引入了冗余照明的概念,以保证成象元件的空间相干照明.充分考虑水平和垂直方向的相空间匹配问题,以提高输出通量.设计聚焦光斑尺寸50nm,输出光通量可达109photons/s@0.1%BW

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖体乔		1	1	1.0	1.0