气体配比控制方法应用

• 作者: 毋克力
• 来源期刊: 有色冶炼
• 学科: 工学
• 关键词: 气体配比 液体与气体配比 控制方法
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 冶金自动化
• 页码范围: 42-43
• 页数: 2页
• 分类号: TH81
• 字数: 1768字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6103.2001.06.015

摘要

工业上用理想气体方程对气体进行定量分析,通过调节气体的温度压力来控制物料的配比.本文介绍了该方法在多晶硅生产中,SiHCl\-3液体与 H2的配比上应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毋克力		3	10	2.0	3.0