SnO2和SnO2-Ag薄膜的电学特性

• 作者: 于中尧 李建平 王利 王悦 高晓光
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SnO2薄膜 银 温度调制方式 电学特性
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 4402字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.003

摘要

用磁控溅射法在集成了铂加热电极的Si基膜片型微结构单元上制备了SnO2和SnO2-Ag敏感薄膜。用温度调制方式和锯齿波加热方式研究了薄膜的电学特性，讨论了银催化剂、湿度及氧分压对SnO2电学特性的影响。从温度调制方式下测得的电阻-温度曲线可以区分由热激发过程和由表面反应过程引起的膜电阻变化。这种方法为研究气敏薄膜表面反应过程和气敏响应机理开辟了新的途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所	251	4235	35.0	54.0
2	王利	中国科学院电子学研究所	57	381	11.0	17.0
3	于中尧	中国科学院电子学研究所	7	87	5.0	7.0
4	高晓光	中国科学院电子学研究所	52	248	9.0	13.0
5	王悦	中国科学院电子学研究所	10	32	4.0	5.0