JXA-840扫描电子显微镜故障检修二例

• 作者: 徐容
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 教育
• 关键词: 扫描电子显微镜 故障分析 检修
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与维修
• 页码范围: 80-81
• 页数: 2页
• 分类号: G482
• 字数: 1214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2001.05.033

摘要

对扫描电子显微镜图像出现畸形和真空控制系统故障的实例进行了分析和检修,并介绍了DP泵温度检测开关的替换方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐容	华东师范大学电镜中心	7	66	4.0	7.0