多光束共焦三维测量系统误差的标定及校正

• 作者: 孔兵 弥宁 王昭 谭玉山
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦测量 系统误差 误差标定 球面拟合
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 1959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.01.016

摘要

由于具有非接触、精度高、测量速度快的特点，多光束共焦测量已经成为一种重要的光学三维测量手段。文章分析了系统中存在的像差，并对第二类像差（焦平面弯曲）提出了测量和标定的方法，即通过测量平面镜来获取系统误差，通过对测量结果的球面拟合来进行标定，利用标定值即可进行系统误差的校正。采用此种方法可简化光学系统设计，降低系统制造费用。最后给出了试验的结果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王昭	西安交通大学激光与红外研究所	63	763	13.0	26.0
2	谭玉山	西安交通大学激光与红外研究所	77	1184	18.0	31.0
3	孔兵	西安交通大学激光与红外研究所	18	543	8.0	18.0
4	弥宁	西安交通大学激光与红外研究所	4	60	3.0	4.0