缓蚀剂阳极脱附的动力学研究

• 作者: 卜宪章 江俊伟 汪的华 甘复兴 邹津耘
• 来源期刊: 武汉大学学报(理学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 缓蚀剂 阳极脱附 脱附动力学 脱附机制
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 物理化学.电化学
• 页码范围: 133-136
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.42
• 字数: 3189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-8836.2001.02.002

摘要

运用极化曲线、微分极化曲线、循环极化和恒电位暂态等方法研究了缓蚀剂阳极脱附的动力学行为，结果表明：缓蚀剂阳极脱附存在一个明显的诱导期，具有“S”型的脱附动力学曲线，呈自催化反应特征；外加电位越正，缓蚀剂脱附速度越快，脱附的诱导期越短；覆盖度高的稳定吸附层，脱附电位更正，脱附速度也更快.据此提出了缓蚀剂的阳极脱附是由于阳极极化条件下电极过程吸附态中间产物的竞争吸附使得缓蚀剂发生自加速脱附的新机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	甘复兴	武汉大学化学与分子科学学院	88	906	16.0	25.0
2	汪的华	武汉大学化学与分子科学学院	26	270	9.0	16.0
3	江俊伟	武汉大学化学与分子科学学院	19	20	3.0	4.0
4	卜宪章	武汉大学化学与分子科学学院	2	34	2.0	2.0
5	邹津耘	武汉大学化学与分子科学学院	3	40	3.0	3.0