微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析

• 作者: 余同希 李志宏 王立森 胡宇群 赵亚溥
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微加速度计 体硅加工工艺 冲击载荷 失效分析 粘附
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微摩擦磨损与可靠性
• 页码范围: 516-522
• 页数: 7页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.026

摘要

抗冲击性是加速度计的一个主要性能指标,跌落实验则是一种测试结构冲击作用的有效方式,本文利用跌落实验对一种折叠梁式微加速度计在冲击载荷作用下的失效模式进行了研究.实验发现在微加速度计中主要存在两种主要的失效模式,即微梁结构的整体破坏和微结构在横向之间的粘附.应用拟静态和能量方法给出微结构在冲击载荷下的响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵亚溥	中国科学院力学研究所	25	551	10.0	23.0
2	余同希	香港科技大学机械工程系	22	337	12.0	18.0
3	王立森	中国科学院力学研究所	1	31	1.0	1.0
4	胡宇群	中国科学院力学研究所	1	31	1.0	1.0
5	李志宏	香港科技大学机械工程系	1	31	1.0	1.0