聚酰亚胺绝缘膜的真空性能及在电真空器件中的应用研究

• 作者: 李玲珍 郑姚生
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 聚酰亚胺 放气特性 质谱分析
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 220-222，228
• 页数: 4页
• 分类号: O484|O484.5
• 字数: 1972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.03.012

摘要

利用固体质谱仪和气体质谱仪分别进行了聚酰亚胺绝缘膜的表面成分及在高温烘烤过程中的放气性能和气体成分分析。结果表明，聚酰亚胺材料中不存在污染阴极的有害成分，并且经高温烘烤后，在300 ℃时的平衡压强小于1.9×10-3 Pa。因此，它完全可以作为真空中的绝缘介质材料。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玲珍	东南大学电子工程系	3	18	2.0	3.0
2	郑姚生	东南大学电子工程系	18	68	5.0	7.0