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离子注入对SiO2表面非晶碳薄膜的化学状态及摩擦学性能的影响
离子注入对SiO2表面非晶碳薄膜的化学状态及摩擦学性能的影响
作者:
吕晋军
徐洮
杨生荣
薛群基
齐尚奎
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
离子束混合
非晶碳薄膜
摩擦学性能
摘要:
采用真空蒸镀法在SiO2表面制备非 晶态碳纳米薄膜,考察了碳离子注入对非晶态碳薄膜与基体结合强度及摩擦学性能的影响, 并采用X射线光电子能谱表征了碳薄膜/基体的界面化学状态.研究结果表明:非晶态碳薄膜 经碳离子注入处理后,碳薄膜与基体的结合强度及其耐磨寿命均明显提高;当碳离子注入剂 量达到1×1016 C+/cm2时,碳薄膜与基体的结合强度增加,但碳薄膜耐磨寿命的 提高幅度有限;当注入剂量达到并超过5×1016 C+/cm2后,碳离子注入所引起的 碰撞混合和化学混合作用直接导致碳薄膜与SiO2基体界面处的原子扩散以及Si-C键的形 成,从而大幅提高碳薄膜与基体的结合强度及其耐磨寿命.
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文献信息
篇名
离子注入对SiO2表面非晶碳薄膜的化学状态及摩擦学性能的影响
来源期刊
摩擦学学报
学科
工学
关键词
离子束混合
非晶碳薄膜
摩擦学性能
年,卷(期)
2001,(1)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
6-9
页数
4页
分类号
TG174.444
字数
2675字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-0595.2001.01.002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
吕晋军
中国科学院兰州化学物理研究所
60
777
13.0
26.0
2
薛群基
中国科学院兰州化学物理研究所
219
3991
32.0
53.0
3
杨生荣
中国科学院兰州化学物理研究所
104
1439
18.0
34.0
4
齐尚奎
中国科学院兰州化学物理研究所
18
123
6.0
10.0
5
徐洮
中国科学院兰州化学物理研究所
75
815
16.0
23.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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节点文献
引证文献
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同被引文献
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非晶碳薄膜
摩擦学性能
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
摩擦学学报
主办单位:
中国科学院兰州化学物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-0595
CN:
62-1095/O4
开本:
大16开
出版地:
甘肃省兰州市天水中路18号
邮发代号:
54-42
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
2442
总下载数(次)
5
总被引数(次)
39808
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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