扫描电子显微镜成像信号分析

• 作者: 干蜀毅 朱武 王先路 陈长琦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜(SEM) 成像信号 二次电子
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 学术讨论
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TN16
• 字数: 3485字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.06.012

摘要

介绍了扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理,着重分析了在SEM初始电子束作用下,各种成像信号产生的方式及其特点,确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为SEM的最终信号源.针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷,介绍了解决办法,从而使SEM的成像性能得以大幅提高,使用范围大为扩展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长琦	合肥工业大学机械与汽车工程学院	119	1027	16.0	26.0
2	干蜀毅	合肥工业大学机械与汽车工程学院	59	703	12.0	25.0
3	朱武	合肥工业大学机械与汽车工程学院	74	744	13.0	24.0
4	王先路	合肥工业大学机械与汽车工程学院	23	491	11.0	22.0