高效平面全息衍射光栅的获取方法

• 作者: 赵博 齐向东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 全息光栅 离子刻蚀 衍射效率
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 109-114
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.02.003

摘要

从全息衍射光栅的制作原理出发，介绍了全息光栅的主要制作方法，并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及槽间距等进行了优化设计，同时利用离子束刻蚀技术获得了高效率全息光栅。文中全面分析了制作高效率平面全息光栅的各项关键技术。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵博	北京大学遥感与地理信息系统研究所	45	476	13.0	20.0
2	齐向东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	61	630	16.0	22.0