Sol-Gel法制备低阻In2 O3薄膜

• 作者: 全宝富 刘凤敏 李爱武 陈丽华
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: sol-gel法 In2O3薄膜 气敏特性
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 407-409
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.9
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.04.026

摘要

采用sol-gel法制备In2O3薄膜材料,研究了不同制备条件对薄膜电阻的影响;分别用XPS、XRD方法对材料进行了分析,确定了其结构和组成,并用此薄膜材料制作了直热式气敏元件,发现它对乙醇、丁烷气体具有较高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	全宝富	吉林大学电子工程系	46	350	10.0	16.0
2	陈丽华	吉林大学电子工程系	29	243	9.0	15.0
3	刘凤敏	吉林大学电子工程系	18	119	6.0	10.0
4	李爱武	吉林大学电子工程系	13	68	3.0	8.0