纳米T膜形成过程的扫描隧道显微镜观察

• 作者: 孙超 孟祥敏 杜昊 谢天生 闻立时
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 纳米Ti膜 扫描隧道显微镜(STM)
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 113-117
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2001.02.001

摘要

用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米Ti膜.扫描隧道显微镜(STM)的观察结果表明,初期膜是由直径小于2 nm的形核粒子和粒子团聚体组成.粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构.随薄膜厚度增加,平均晶粒尺寸增加,形成大尺寸晶粒的连续薄膜.分析和讨论了薄膜生长过程的结构特征及溅射条件对薄膜结构的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
3	杜昊	中国科学院金属研究所	24	169	8.0	11.0
4	孟祥敏	中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室	19	31	3.0	4.0
5	谢天生	中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室	3	5	1.0	2.0