利用菲涅尔衍射测量微小尺寸

• 作者: 何小东 冉多钢 曹文杰
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 夫琅和费衍射 菲涅尔衍射 衍射暗斑
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2001.03.012

摘要

在科研工程实际中,对细丝、狭缝等微小尺寸的测量通常采用夫琅和费衍射法,因为衍射暗斑间距与被测尺寸之间具有很简单的函数关系:s=λL/d.理论上,夫琅和费衍射条件是相当苛刻的,即要求L＞d2/λ,在实际应用中,考虑到光源、传感器以及被测对象尺寸之间的匹配关系,往往很难实现.本文通过理论分析与实验数据充分证明,对于菲涅尔衍射,前述函数关系也能保持极为良好的近似,为仪器结构设计提供了极大方便,同时也为提高测量精度,扩展测量范围创造了有利条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹文杰	河北工业大学机械学院	10	56	4.0	7.0
2	冉多钢	河北工业大学机械学院	19	94	6.0	9.0
3	何小东	河北工业大学机械学院	1	0	0.0	0.0