大尺寸电子束引出窗

• 作者: 尉伟 王勇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束 引出窗口 密封性能 有限元分析
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 182-184
• 页数: 3页
• 分类号: O434.12
• 字数: 2286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.03.003

摘要

详细介绍了一种新型平面压封结构的大尺寸电子束引出窗口的研究和设计，并给出了金属膜窗的基本参数的设计方法和计算公式，为大尺寸电子束引出窗的设计提供了依据，可作为同类膜窗设计的参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇		507	5142	33.0	48.0
2	尉伟		21	104	7.0	9.0