PtSi红外探测器截止波长延长研究

• 作者: 刘爽 刘飒 宁永功 杨家德 陈艾
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: PtSi 红外探测器 掺杂 MBE 低能离子注入
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 109-111
• 页数: 3页
• 分类号: TN362
• 字数: 1907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.02.010

摘要

讨论了将PtSi红外探测器截止波长延长的理论基础，并介绍了采用在衬底掺入Tl+和Ir+，MBE生长P+层以及低能离子注入B+，In+来延长PtSi红外探测器截止波长的三种方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁永功	电子科技大学信息材料工程学院	14	40	4.0	5.0
2	陈艾	电子科技大学信息材料工程学院	23	487	12.0	22.0
3	杨家德		10	119	5.0	10.0
4	刘爽		2	4	1.0	2.0
5	刘飒		1	1	1.0	1.0