基于主轴回转运动误差在线检测的二次相移三点法

• 作者: 李自军 洪迈生 苏恒 魏元雷
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二次相移三点法 误差分离技术 反滤波 回转运动误差
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 319-323
• 页数: 5页
• 分类号: TH161.5
• 字数: 2067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.04.005

摘要

提出了一种基于数据重组和反滤波的二次相移三点法圆度误差分离技术,可以先行分离出主轴的回转运动误差,从而能够实现运动误差的在线检测.通过对三个传感器的测量数据按照二次相移原则进行数据重组,可以在数据处理的首次操作时消除圆度形状误差的影响,从而在二次操作时先行得到运动误差.权函数的对比分析表明该方法与圆度三点法在本质上的同源性和统一性.仿真与实验结果均表明:该方法可以先后分离出运动误差和形状误差,具有良好的分离效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏恒	上海交通大学机械工程学院	26	392	12.0	19.0
2	洪迈生	上海交通大学机械工程学院	53	909	16.0	27.0
3	魏元雷	上海交通大学机械工程学院	28	442	13.0	20.0
4	李自军	上海交通大学机械工程学院	32	445	13.0	20.0