等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断

• 作者: 周海洋 朱晓东 温晓辉 詹如娟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子温度 电子密度 粒子 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2957字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.017

摘要

报道了利用光发射谱(OES)和朗谬尔探针对热阴极直流放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的等离子体条件进行原位研究的部分结果，研究了几种过程参数变化中等离子体状态，并与金刚石膜的沉积相联系。当CH4浓度变化时，CH基团的发射强度和电子密度ne的变化表现出相似趋势，均出现一极大值。而在高CH4浓度，C2的发射出现。在气压变化过程中，CH的发射强度和ne均随气压的升高而下降，C2的发射强度变化不大。用OES和朗谬尔探针测量的电子温度Te所显示的结果是一致的。在这些过程中，电子碰撞应该是CH发射的主要机制，C2的发射应该来源于化学发光或热激发。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	詹如娟		17	150	7.0	12.0
2	朱晓东		33	346	8.0	18.0
3	周海洋		8	51	5.0	7.0
4	温晓辉		8	34	4.0	5.0