纳米结构的制备及单电子器件研究

• 作者: 周均铭 李卫 李宏伟 王太宏 贾海强 黄绮
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 单电子晶体管 纳米加工技术 量子点
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究快讯
• 页码范围: 3-5
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 4328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2001.01.002

摘要

建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统，研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术，制备了适合光电集成的多种纳米结构，发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术.其中，在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视.发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向.目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周均铭	中国科学院物理研究所	29	95	6.0	8.0
2	黄绮	中国科学院物理研究所	26	106	7.0	9.0
3	王太宏	中国科学院物理研究所	47	240	9.0	13.0
4	李宏伟	中国科学院物理研究所	41	477	10.0	21.0
5	李卫	中国科学院物理研究所	17	40	3.0	6.0
6	贾海强	中国科学院物理研究所	9	31	4.0	5.0