微型光谱仪的发展现状

• 作者: 吴一辉 鞠挥
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光电机械系统 光学纤维 光谱仪
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与技术
• 页码范围: 372-376
• 页数: 5页
• 分类号: TN744.1
• 字数: 4176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.04.016

摘要

光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍.光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	126	1121	18.0	27.0
2	鞠挥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	256	4.0	9.0