FeSiAl合金薄膜电感的研制与研究

• 作者: 姚中 虞维扬 赵海燕
• 来源期刊: 金属功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: FeSiAl合金 薄膜电感 DO3超结构
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TM271|O484.4
• 字数: 2556字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-8192.2001.03.005

摘要

本文采用DC直流溅射的方法研制了FeSiAl合金薄膜电感，并探讨了输入功率、靶与基板间距离等溅射成形条件及成膜速率的关系及其对薄膜电感性能的影响，同时还分析了不同状态下的FeSiAl合金薄膜的结构，讨论了产生DO3超结构的最佳工艺条件。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵海燕		2	18	2.0	2.0
2	虞维扬		4	18	2.0	4.0
3	姚中		4	18	2.0	4.0