大面积CVD金刚石膜的热铁板抛光

• 作者: 刘敬明 吕反修 唐伟忠 张恒大 蒋政
• 来源期刊: 北京科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 热铁板抛光 石墨 扩散
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-053X.2001.01.012

摘要

研制成功国内第1台大面积CVD金刚石膜热铁板抛光机．它可以在10Pa真空条件下，加热到1 100℃；抛光台可以在0～10 r/min间实现无级调速，一次完成3片110 mm的金刚石膜的抛光．金刚石膜在980℃，2 h抛光的结果表明该装置有良好的抛光效果．金刚石膜在980℃抛光不同时间的Raman谱表明，金刚石热铁板抛光是金刚石石墨化和C原子不断扩散的过程．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	张恒大	北京科技大学材料科学与工程学院	10	62	5.0	7.0
4	蒋政	北京科技大学材料科学与工程学院	7	41	4.0	6.0
5	刘敬明	北京科技大学材料科学与工程学院	11	91	6.0	9.0