薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较

• 作者: 何家文 张铭
• 来源期刊: 兵器材料科学与工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 掠射侧倾法 常规法 侧倾法 薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 物理测试
• 页码范围: 67-71
• 页数: 4页
• 分类号: O434.12
• 字数: 2377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-244X.2001.01.018

摘要

对比了薄膜X射线应力测试的三种衍射几何，结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了PVD和PCVD工艺的TiN薄膜的内应力情况，结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何家文		81	1138	18.0	30.0
2	张铭		16	74	5.0	7.0