微机械加工硅电容式加速度传感器

• 作者: 朱作云 李跃进 杨银堂 陈锦杜 马晓华
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 悬臂梁 差分电容器 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TP.212.12
• 字数: 1923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.01.021

摘要

介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器，它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为20?gn，线性度为10－4量级。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨银堂	西安电子科技大学微电子研究所	420	2932	23.0	32.0
2	朱作云	西安电子科技大学微电子研究所	13	98	6.0	9.0
3	李跃进	西安电子科技大学微电子研究所	70	432	11.0	17.0
4	马晓华		1	14	1.0	1.0
5	陈锦杜		1	14	1.0	1.0