铜铌溅射型低β超导腔的研制及初步实验

• 作者: 全胜文 唐渝兴 张云驰 张保澄 杨希 沈子林 王莉芳 胡岩乐 谢大林 赵坤 赵夔 郝建奎
• 来源期刊: 高能物理与核物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜超导腔铜铌溅射 QWR 低温实验
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 加速器
• 页码范围: 582-587
• 页数: 6页
• 分类号: O57
• 字数: 3091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3052.2001.06.018

摘要

超导谐振腔是超导加速器的关键部件. 用于重离子超导加速器的低β加速腔的最佳选择是四分之一波长谐振腔(QWR). 目前，利用无氧铜为基底，溅射一层几微米厚的铌膜，可以获得极好的超导性能和加速离子性能. 但是，四分之一波长谐振腔的内表面复杂，溅射均匀的铌膜比较困难. 针对此难题，发展了一种多参数可调节的溅射方法，在640×220的大型腔体内，成功地生成了一层均匀的、超导性能优异的铌膜. 超导腔的低温实验表明铌膜的性能良好.