用于精密测量的光纤偏振光干涉仪

• 作者: 原诚寅 徐铁军 朱昊 田芊 章恩耀
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 光纤传感器 偏振 干涉
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 93-96,143
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.02.006

摘要

能对位移和振动进行高精度测量的光纤偏振光干涉仪是一种将偏振光干涉技术与光纤传感技术相结合的新型光纤传感器。当被测物表面反射光与自聚焦透镜端面反射光相干涉时，根据偏振角反推被测物的微小位移，理论上其测量精度可达到0.01nm，可用于生产过程中非接触在线测量与监控。介绍了这种光纤传感器的原理，给出了实验结果并进行了分析讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田芊	清华大学精密仪器系	52	417	11.0	18.0
2	朱昊	清华大学精密仪器系	33	330	6.0	17.0
3	章恩耀	清华大学精密仪器系	22	174	8.0	12.0
4	徐铁军	清华大学精密仪器系	5	25	4.0	5.0
5	原诚寅	清华大学精密仪器系	1	6	1.0	1.0