石英谐振力传感器的温度自测及温度补偿

• 作者: 冯冠平 朱惠忠 王喆垚 董永贵
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 石英谐振器 力传感器 温度自测 温度补偿
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.01.017

摘要

石英谐振器的基频和3次泛音频率都是力和温度的函数，利用二者各阶温度系数除一阶外均相同的特性，基频的3倍频与3次泛音的差频是温度的线性函数并且与力无关，因此测量差频可以实现力传感器的温度自测和温度补偿。与采用分立的温度传感器相比，该方法消除了由于温度传感器和谐振器热惯性和空间位置不同引起的测温误差，提高了动态温度过程中的补偿精度。给出了谐振器双模式激励的电路原理图及实验结果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱惠忠	清华大学精密仪器系	18	167	6.0	12.0
2	冯冠平	清华大学精密仪器系	26	250	10.0	15.0
3	王喆垚	清华大学微电子所	16	139	6.0	11.0
4	董永贵	清华大学精密仪器系	41	450	11.0	20.0