化学气相沉积法制备金刚石薄膜的工业应用

• 作者: 汪建华 邬钦崇 马志斌
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 化学气相沉积 工业应用
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 3897字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2001.03.009

摘要

评述了金刚石薄膜的化学气相沉积方法,介绍了金刚石薄膜在工业中的应用前景,并分析了大规模应用所面临的技术困难.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邬钦崇	中国科学院等离子体物理研究所	18	105	7.0	9.0
2	汪建华	武汉化工学院材料工程系	57	613	12.0	20.0
3	马志斌	中国科学院等离子体物理研究所	7	170	5.0	7.0